| 形式 |
HAX-0405
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HAX-0605
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HAX-0806
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HAX-1007
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HMX-0405
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HMX-0506
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HMX-0605
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HMX-0806
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HMX-1007
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| 固有振動数 |
1.8〜2.5Hz（垂直方向） 3.2〜4.0Hz（水平方向） |
| 防振方式 |
全方位対応三次元空気ばね |
| 水平維持方式 |
HAX：メカニカルバルブによる自動式（空気供給圧0.25〜0.5Mpa）
HMX：手押しポンプによる手動式 |
| 搭載可能重量(kg) |
80 |
80 |
80 |
80 |
120 |
| 定盤上面 |
高剛性スチールハニカム定盤
25XY-M6タップ加工
上下面着磁性ステンレス材使用 |
| 全体寸法(mm) |
HAX |
440x540x94 |
600x500x94 |
800x600x94 |
1000x700x94 |
| HMX |
440x560x94 |
500x620x94 |
600x520x94 |
800x620x94 |
1000x720x94 |
| 製品重量(kg) |
33 |
39 |
39 |
53 |
79 |
| 標準付属品 |
HAX：φ6mmx5mチューブ付き ワンタッチ継ぎ手（PT1/4オネジ）
HMX：手押しポンプ 虫回しドライバー |
| オプション |
集中排気口、BAステンレス貼り（側面）、シールド加工 |
